光谱共焦位移传感器
小尺寸、大宗程
超大角度、高重复精度
0.09um线性误差
险些不受材质、形状和反光的影响
±62°的超大镜面丈量角度
仅一个控制器即可支持4通道同步丈量
产品概述
Product Description
- 系统包括控制器、光纤、传感头
- 控制用具有精彩的信噪比,适合高动态丈量使命。。。 。。。。优异的外貌补光手艺可以快速调理曝光时间,顺应快速转变外貌的反光特征确保高精度丈量。。。 。。。。
- 光纤接纳不锈钢套管及特殊硅胶材质包裹,轻松应对拉伸负载、弯曲、侧压等重大情形传感头内不含有电子元件,杜绝发热导致夹具变形,影响丈量精度。。。 。。。。
传感头
控制器
原理简介
Principle Introduction
一束白光(或多波长混淆光)经由一个小孔,经由镜头将差别的波长聚焦到光轴上，，，，，，，，色散的形成一条彩虹状漫衍带,照射到样品上,外貌部分反射光反射回去。。。 。。。。
没有照射在光轴与物体外貌交点的光经太过光部件，，，，，，，，照射在另一个小孔周围被阻挡，，，，，，，，无法照射到光谱剖析仪，，，，，，，，不会被滋扰丈量
产品优势
Product Advantages
险些不受任何材质、形状和反光影响多种材质亦可完成高精度丈量
对州材质及光照条件顺应性强
超大丈量角度
- 优异的角度特征和极限区分率
- 可实现镜面外貌士62°,漫反射外貌士88°超大角度丈量
- 可准确丈量带有角度或弧度目的物的3D轮廓
支持四通道同步丈量
- 一个控制器可支持四个传感头
- 可实现低本钱的高精度丈量
- 提高精度,降低本钱
极小的丈量光点纳米级区分率
- 丈量光束在整个丈量规模内具有超高的区分率和精度光点最小可至2.48um,超强收光能力
- 一连超小尺寸丈量光点,丈量出清晰的形状轮廓
- 横向区分率是丈量光点的一半,无需刻意放大光点尺寸,特殊适合丈量细小几何结构和轮廓转变
每秒72000次超高速丈量
- 多功效光谱共焦控制器,实现精彩的信噪比,确保高精度高稳固性丈量
- 特殊适合超高速、高动态检测使命,实现72k/s业界最高丈量频率
- 快速外貌补光手艺可实时动态调解照明亮度和补光时间,实现了对反光特征快速转变外貌的稳固丈量
不受空间和丈量区域限制
重复最小误差仅士0.04um
- HPS-CF系列光谱共焦位移传感器为共焦光路,相较于通俗激光位移传感器,禁止易受到空间中各个外貌的反射滋扰,因此无丈量偏向的限制,尤其在丈量一些盲孔、窄缝等狭窄的区域,具备奇异的优势
- 险些适用于州材质的准确丈量
完整的SDK及一站式软件支持效劳
- 装置简朴，，，，，，，，不受使用场合和用途限制
- 程序设定智能,页面菜单简介明晰，，，，，，，，操作简朴易上手
- 量身定制,售后无忧
| 型号 | 事情距离（mm） | 丈量规模（mm） | 非线性误差(μm) | 角度特征 | 光点巨细(μm) |
|---|---|---|---|---|---|
| HPS-CFL005 | 4.06 | ±2.395 | 2.7 | ±8.2° | 25 |
| HPS-CFL007 | 6.5 | ±0.8 | 3.2 | ±10° | 50 |
| HPS-CFL008A | 9.2 | ±0.67 | 0.57 | ±15.5° | 16 |
| HPS-CFL008B | 4.1 | ±0.544 | 0.28 | ±28.2° | 13 |
| HPS-CFL010 | 7.5 | ±1.25 | 6 | ±12.5° | 60 |
| HPS-CFL010B | 4.2 | ±0.34 | 0.4 | ±30° | 13 |
| HPS-CFL015 | 14.6 | ±0.41 | 0.4 | ±20.7° | 13 |
| HPS-CFL020 | 23.435 | ±1.5 | 2 | ±18° | 13 |
| HPS-CFL025 | 43.9 | ±6 | 4 | ±8.9° | 70 |
| HPS-CFL029 | 4.238 | ±0.2 | 0.09 | ±33° | 7 |
| HPS-CFL030 | 32.5 | ±3.2 | 2 | ±13° | 52 |
| HPS-CFL033 | 16.13 | ±1.25 | 0.15 | ±30.4° | 10 |
| HPS-CFL036 | 11.3 | ±1.2 | 0.3 | ±35.23° | 12.4 |
| HPS-CFL037 | 35.9 | ±1.6 | 0.9 | ±19.2° | 37 |
| HPS-CFL040 | 24.45 | ±1.2 | 0.5 | ±23° | 28 |
| HPS-CFL041 | 48.5 | ±6 | 0.63 | ±16° | 32 |
| HPS-CFL042 | 68.45 | ±8 | 2.5 | ±11° | 65 |
| HPS-CFL043 | 7 | ±0.23 | 0.2 | ±44° | 7 |
| HPS-CFL047 | 171 | ±40 | 4.5 | ±7.7° | 30 |
| HPS-CFL052 | 51.24 | ±8.29 | 2.2 | ±15.4° | 38 |
| HPS-CFL053 | 19.98 | ±0.39 | 0.15 | ±33.4° | 3.1 |
| HPS-CFL054 | 9.83 | ±1.06 | 0.35 | ±46° | 15 |
| HPS-CFL055 | 18 | ±2 | 0.8 | ±45° | 10 |
| HPS-CFL060 | 46 | ±14 | 2.8 | ±14° | 44 |
| HPS-CFL094 | 9.09 | ±1.2 | 0.4 | ±62° | 12.8 |